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碳化硅水洗工艺

产量范围:2015-8895T/H

进料粒度:140-250mm

应用范围:2015-8895T/H

物      料:花岗岩、玄武岩、辉绿岩、石灰石、白云石、铁矿石、锰矿石、金矿石、铜矿石

产品简介

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性能特点

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  • 碳化硅微粉水洗工艺

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  • 升华三维助力上海硅酸盐研究所探索碳化硅陶瓷制备新方法

    具有操作简单、工业型、高精度、高质量、高性价比等优点。再结合反应烧结制备工艺在复杂结构碳化硅 陶瓷产品近净尺寸成型方面形成了巨大优势,从而提高了产品生产效率并降低生产成本,为制造复杂结构陶瓷提供了新的工艺方案。 SiC陶瓷3D在 8 寸工艺和 12 寸里的 90/65nm 等工艺中,线宽较宽,对残留的杂质容忍度相对较高,对清洗的要求相对没那么高。同时,在先进工艺中,槽式清洗设备也有单片式清洗无法替代的清洗方式,如高温磷酸清洗,目前只能用槽式清洗设备。详解半导体晶圆清洗机槽式

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